精進不止,至善不息

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已有的奈米技術精生產制造和奈米技術定性分析凈化室綠地面積超出3000平小米。凈化室萬級區的工作溫度因素浮動規模能夠保護在±0.5℃/h,百級區工作溫度因素可保護在±0.3℃/h,網上束光刻地域為±0.1℃/h。微納精生產制造凈化室主環保設備是指光刻、干法刻蝕、積累、定性分析和其余一般微納精生產制造主環保設備。
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