一、概念
高精密潔凈環境室是恒溫恒濕潔凈室的一種，指溫度控制精度在±0.5℃以下，相對濕度控制精度在±5%RH以下且空氣懸浮粒子、微生物濃度和壓力等參數也嚴格受控的房間或限定空間。
二、分類
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超高精密恒溫恒濕實驗室 |
溫度控制精度±0.01~0.1℃ |
比較(jiao)溫度(du)(du)濕度(du)(du)有效(xiao)控制可靠性強，精密度(du)(du)±1%RH |
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高精密恒溫恒濕實驗室 |
溫度控制精度±0.1~0.3℃ |
相比較溫度(du)把控好可靠性強，精密度(du)±2%RH |
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精密恒溫恒濕實驗室 |
溫度控制精度±0.3~0.5℃ |
相(xiang)對而言濕球(qiu)溫(wen)度(du)調(diao)節誤差±3~5%RH |
三、方案要點
1、房間朝向
2、保溫密閉
3、負荷計算
4、風量計算
5、系統選擇
6、送回風方式
7、精度控制
8、節能控制
四、精密環控系統（控制箱、控制柜）
精密環控箱（柜）主要為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環境。
精密環境控制系統（精密環境控制箱、精密環境控制柜）可實現潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃等精密環境控制。
目前我司已為相關領域客戶提供了穩定的實驗室環境以及監測服務。